离子溅射仪:从原理到应用
2023-12-23
文章 本文将详细介绍离子溅射仪的工作原理。离子溅射仪是一种广泛应用于材料表面分析的仪器,其主要原理是利用离子束轰击样品表面,将表面材料溅射出来,然后通过分析这些溅射物来得到样品表面的化学成分和结构信息。本文将从离子源、离子束生成、样品表面反应、离子能量损失、离子溅射物分析、离子溅射仪应用等6个方面对离子溅射仪的工作原理进行详细阐述。 离子源 离子源是离子溅射仪的核心部件,其主要作用是产生高能离子束。离子源分为两种类型:固体离子源和气体离子源。固体离子源主要是利用电子轰击产生的离子,而气体离子源